发明名称 Vorrichtung zur Wärmeableitung in einem Chip mittels einer als Peltier-Element ausgebildeten Kühlstelle und Verfahren zur Herstellung
摘要
申请公布号 DE4104327(C2) 申请公布日期 1994.10.13
申请号 DE19914104327 申请日期 1991.02.13
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 LANG, WALTER, DR., 8000 MUENCHEN, DE;DROST, ANDREAS, DIPL.-PHYS., 8000 MUENCHEN, DE
分类号 H01L23/38;(IPC1-7):H01L23/38;H01L35/14;H01L35/32 主分类号 H01L23/38
代理机构 代理人
主权项
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