In-Situ-Kontrolltechnik und Gerät zum Bestimmen des Endes eines chemisch-mechanischen Planiervorganges.,申请号DE1991603809-传众专利搜索

发明名称	In-Situ-Kontrolltechnik und Gerät zum Bestimmen des Endes eines chemisch-mechanischen Planiervorganges.
摘要
申请公布号	DE69103809(D1)	申请公布日期	1994.10.13
申请号	DE1991603809	申请日期	1991.04.29
申请人	AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US	发明人	MILLER, GABRIEL LORIMER, WESTFIELD, NEW JERSEY 07090, US;WAGNER, ERIC RICHARD, SOUTH PLAINFIELD, NEW JERSEY 07080, US
分类号	G01N27/22;B23Q15/007;B24B37/013;G01B7/34;G01R27/26;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/66;(IPC1-7):B24B37/04	主分类号	G01N27/22
代理机构		代理人
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