发明名称 Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68917971(D1) 申请公布日期 1994.10.13
申请号 DE19896017971 申请日期 1989.04.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KINUGAWA, MASAAKI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/45;(IPC1-7):H01L29/60;H01L29/40;H01L29/54;H01L29/62 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址