发明名称
摘要
申请公布号 JPH0680734(B2) 申请公布日期 1994.10.12
申请号 JP19860158252 申请日期 1986.07.04
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TOSAKA ASAMITSU
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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