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发明名称 SULFONYLATED CARBOXAMIDE
摘要
申请公布号 JPH0680653(B2) 申请公布日期 1994.10.12
申请号 JP19880225396 申请日期 1988.09.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MASUDA SATOSHI;SHIGEMITSU FUMIAKI;USUDA KINYA
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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