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发明名称 PHENYLSULFONAMIDE
摘要
申请公布号 JPH0680646(B2) 申请公布日期 1994.10.12
申请号 JP19880036944 申请日期 1988.02.18
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SAGAWA SEIJI;TONARI SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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