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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0680635(B2)
申请公布日期
1994.10.12
申请号
JP19890022171
申请日期
1989.01.30
申请人
SHINETSU HANDOTAI KK
发明人
NAGOYA TAKATOSHI;MORI YOSHUKI
分类号
H01L21/205;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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