METHOD AND SYSTEM FOR CONTROL OF A MATERIAL REMOVAL PROCESS USING SPECTRAL EMISSION DISCRIMINATION.

摘要

L'invention concerne un système et une méthode d'enlèvement de matériau d'une structure, qui consistent: (a) à générer un faisceau de lumière (12, 549) en provenance d'une source appropriée (10, 512); (b) à irradier le matériau de surface (18, 20) d'une structure (14) au moyen du faisceau de lumière avec une intensité suffisante pour enlever le matériau de surface et faire en sorte que ledit matériau de surface génère des spectres (17) à des intensités différentes; (c) à balayer la structure avec le faisceau de lumière à une certaine vitesse de balayage; (d) à contrôler les émissions spectrales (17) afin de détecter un signal d'émission spectrale ayant une longueur d'onde sélectionnée et générant un signal électronique de sortie (29a) représentatif de l'intensité du signal d'émission spectrale sélectionné en réponse à la détection du signal d'émission spectrale sélectionné; (e) à déterminer une vitesse de balayage mise à jour apparentée de manière fonctionnelle au signal de sortie électronique; et (f) à contrôler la vitesse de balayage de manière qu'elle soit égale à la vitesse de balayage mise à jour. Selon un second mode de réalisation, la vitesse de balayage mise à jour est déterminée d'après l'intensité des signaux d'émission spectrale (17) détectés à intervalles prédéterminés lorsque la structure est illuminée par une source de lumière pulsée (512) telle qu'une lampe à éclairs. Selon un troisième mode de réalisation, la vitesse de balayage mise à jour est déterminée d'après l'intensité des signaux d'émission spectrale résultant d'une impulsion laser irradiant la structure lorsque le faisceau lumineux est approximativement à la puissance minimum.