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摘要
申请公布号
JPH0680708(B2)
申请公布日期
1994.10.12
申请号
JP19860086485
申请日期
1986.04.15
申请人
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP
发明人
NOMURA JUJI
分类号
H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
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