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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0680186(B2) 申请公布日期 1994.10.12
申请号 JP19860051947 申请日期 1986.03.10
申请人 HANDOTAI ENERGY KENKYUSHO 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;SUZUKI KUNIO;KANEHANA MIKIO;FUKADA TAKESHI;ABE MASAYOSHI;SHIBATA KATSUHIKO;SHINOHARA HISATO;USUDA MASATO
分类号 H01L21/285;C23C14/34;C23C14/56;H01B13/00;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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