发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06287742(A) 申请公布日期 1994.10.11
申请号 JP19930100287 申请日期 1993.04.02
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SUGIYAMA KENJI
分类号 C23C14/06;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/06 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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