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发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06287536(A) 申请公布日期 1994.10.11
申请号 JP19930074036 申请日期 1993.03.31
申请人 CANON INC 发明人 OYAMA JUNJI;MATSUDA HIROSHI;MORIKAWA YUUKO;TAKEDA TOSHIHIKO
分类号 B05D1/20;C09K3/00;(IPC1-7):C09K3/00 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
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