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发明名称 ROTARY COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06285413(A) 申请公布日期 1994.10.11
申请号 JP19930098747 申请日期 1993.03.31
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KIZAKI KOJI;YOSHINO HIROFUMI
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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