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发明名称 ZRO2 THIN FIRM, TIO2 THIN FILM AND THEIR PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH06287756(A) 申请公布日期 1994.10.11
申请号 JP19930076679 申请日期 1993.04.02
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 OKADA FUMIO;TOKITA KOJI
分类号 C23C16/40;C04B41/50;C23C16/48;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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