发明名称 FORMATION OF FUNCTIONAL THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06287090(A) 申请公布日期 1994.10.11
申请号 JP19930097280 申请日期 1993.03.31
申请人 NIPPON MUKI CO LTD 发明人 MASUDA RYUJI;KITAMURA KAZUHIRO;KAWASHIMA KOICHI
分类号 C03C17/34;C03C17/25;C04B41/50;C04B41/80;C04B41/87;(IPC1-7):C04B41/87 主分类号 C03C17/34
代理机构 代理人
主权项
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