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发明名称 CONTACT LAYER AND ITS FORMATION AND WIRING STRUCTURE AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH06283615(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930068570 申请日期 1993.03.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KASUYA YUKIO
分类号 H01L21/203;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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