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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06283504(A)
申请公布日期
1994.10.07
申请号
JP19930067790
申请日期
1993.03.26
申请人
NEC KANSAI LTD
发明人
MATSUURA TATSUO
分类号
B05C11/08;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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