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发明名称 METHOD OF CLEANING CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06283429(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930072253 申请日期 1993.03.30
申请人 NIPPON SANSO KK 发明人 UBUKATA AKINORI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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