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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283674(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930068218 申请日期 1993.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKADA MASAKAZU
分类号 H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
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