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发明名称 CHARGED BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283124(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930090792 申请日期 1993.03.25
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 OKAYAMA SHIGEO;OGURA MUTSURO;KOMURO MASANORI;HIROSHIMA HIROSHI
分类号 H01J37/18;H01J37/20;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
主权项
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