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发明名称 RESIST STRIPPING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06283415(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930092115 申请日期 1993.03.26
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 YONEZAWA SHINYA;SONEHARA SHINICHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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