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发明名称 VALVE OPENING/CLOSING CHECKING METHOD FOR HIGH PURITY GAS PIPING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06281052(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930061920 申请日期 1993.03.22
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TSUCHIYAMA HIROSHI
分类号 F16K37/00;F17D1/04;H01L21/205;(IPC1-7):F16K37/00 主分类号 F16K37/00
代理机构 代理人
主权项
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