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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FORMING CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283609(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930069979 申请日期 1993.03.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIMURA HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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