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发明名称
MEASURING METHOD FOR THERMAL RESISTANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06281693(A)
申请公布日期
1994.10.07
申请号
JP19930108627
申请日期
1993.05.11
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
UENO TOSHIO
分类号
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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