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发明名称 FILM-COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283417(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930068238 申请日期 1993.03.26
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 ITO TAKESHI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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