| 发明名称 |
ACCELERATION TEST METHOD OF ELECTROMIGRATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06283587(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930068374 |
申请日期 |
1993.03.26 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
NEMOTO TAKENAO;NOGAMI TAKESHI |
| 分类号 |
G01N27/00;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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