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发明名称 ETCHING ELECTRODE PLATE
摘要
申请公布号 JPH06283469(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930089506 申请日期 1993.03.25
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 IKEDA AKITO;TANAKA ICHIRO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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