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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06283627(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930067172 申请日期 1993.03.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAYAMA SHINICHI
分类号 H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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