| 发明名称 |
SOI SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06283421(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930083988 |
申请日期 |
1993.03.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
NAKAI TETSUYA;SHINGYOUCHI TAKAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/322;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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