发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06283527(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
申请号 |
JP19930066384 |
申请日期 |
1993.03.25 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
OKA NAOMASA |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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