APERTURE FOR REDUCTION PROJECTION ALIGNER,申请号JP19930067259-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	APERTURE FOR REDUCTION PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号	JPH06283404(A)	申请公布日期	1994.10.07
申请号	JP19930067259	申请日期	1993.03.26
申请人	NEC CORP	发明人	SASANO MIKIO
分类号	G02F1/13;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G02F1/13
代理机构		代理人
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