发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06283713(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930067256 申请日期 1993.03.26
申请人 NEC CORP 发明人 MOGAMI TORU
分类号 H01L29/78;H01L21/28;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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