发明名称 FORMATION OF OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH06283512(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930071397 申请日期 1993.03.30
申请人 NEC CORP 发明人 AKIMOTO KOICHI
分类号 H01L21/316;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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