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发明名称 PASSIVATION MATERIAL COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283505(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930068939 申请日期 1993.03.29
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMADA OSAMU
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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