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发明名称 DRY ETCHING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283460(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930067950 申请日期 1993.03.26
申请人 SHARP CORP 发明人 YONEDA HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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