EVACUATION AND VACUUM EQUIPMENT,申请号JP19930090681-传众专利搜索

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发明名称	EVACUATION AND VACUUM EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH06283449(A)	申请公布日期	1994.10.07
申请号	JP19930090681	申请日期	1993.03.24
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	SAITO MASASHI
分类号	H01J37/18;H01J37/317;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01J37/18
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