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发明名称 FORMATION METHOD OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH06283705(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930092530 申请日期 1993.03.26
申请人 CLARION CO LTD 发明人 SATO SEIKI;TOKURA KENJI
分类号 C30B25/14;H01L21/306;H01L29/205;(IPC1-7):H01L29/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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