发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06283614(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930071925 申请日期 1993.03.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SAWADA JUN
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址