| 发明名称 |
SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORT AND TRANSPORT APPARATUS AND METHOD FOR PREVENTION OF APPLICATION TO BACK SIDE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06283431(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19910201315 |
申请日期 |
1991.07.16 |
| 申请人 |
NOBERASU SYST INC;NATL SEMICONDUCTOR CORP <NS> |
发明人 |
MAIKERU II TOOMASU;EBAAHAADASU PII BANDE BAN;ERIOTSUTO KEI BUROODOBENTO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;C30B25/12;C30B31/14;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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