| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SHAPE PARAMETER OF MULTI-DIMENSIONAL SHAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06281440(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930066439 |
申请日期 |
1993.03.25 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SASAKI TOYOHARU;OKAMOTO HIDEAKI;ISHIKAWA FUMIO;ITO IZUMI;KISHINAMI TAKESHI |
| 分类号 |
G01B21/00;G01B21/20;G06T7/60;(IPC1-7):G01B21/20;G06F15/70 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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