发明名称 |
Funktionseinrichtung für eine Vakuumanlage für die Behandlung von scheibenförmigen Werkstücken |
摘要 |
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申请公布号 |
DE9407482(U1) |
申请公布日期 |
1994.10.06 |
申请号 |
DE19940007482U |
申请日期 |
1994.05.05 |
申请人 |
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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分类号 |
C23C14/56;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):C23C14/22 |
主分类号 |
C23C14/56 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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