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发明名称 Lösungsmittel zum Reinigen von Siliciumscheiben.
摘要
申请公布号 DE68914822(T2) 申请公布日期 1994.10.06
申请号 DE19896014822T 申请日期 1989.03.09
申请人 PCR GROUP INC., GAINESVILLE, FLA., US 发明人 KREMER, PAUL WILLIAM, GAINESVILLE FLORIDA 32605, US
分类号 C11D7/50;H01L21/306;(IPC1-7):C11D7/50 主分类号 C11D7/50
代理机构 代理人
主权项
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