发明名称 Verfahren zum Herstellen von elektrischen Kontakten in integrierten Schaltungen.
摘要
申请公布号 DE3888511(T2) 申请公布日期 1994.10.06
申请号 DE19883888511T 申请日期 1988.11.28
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 DE WERDT, REINIER C/O PHILIPS INTERNATIONAL B.V., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;DE BRUIN, LEENDERT C/O PHILIPS INTERNATIONAL B.V., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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