| 申请人 |
MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH, 44227 DORTMUND, DE |
发明人 |
REINECKE, HOLGER, DR., 6729 RUELZHEIM, DE;RPGMER, ARND, DR., 7500 KARLSRUHE, DE;NOEKER, FRIEDOLIN FRANZ, 7500 KARLSRUHE, DE;SIEBER, ULRICH, DR., 7500 KARLSRUHE, DE;PRUEFER, GERD, DR., 6334 ASSLAR, DE;PANNHOFF, HELGE, 7500 KARLSRUHE, DE;BRENK, UWE, 7539 KAEMPFELBACH, DE |
