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发明名称 Verfahren zur nasschemischen Oberflächenbehandlung von Halbleiterscheiben.
摘要
申请公布号 DE58908255(D1) 申请公布日期 1994.10.06
申请号 DE19895008255 申请日期 1989.06.01
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 84489 BURGHAUSEN, DE 发明人 LAMPERT, INGOLF, D-8263 BURGHAUSEN, DE;GRATZL, CHRISTA, D-8265 NEUOETTING, DE
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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