发明名称 VERTICAL HEAT TREATMENT APPARATUS AND HEAT INSULATING MATERIAL.
摘要
申请公布号 EP0603391(A4) 申请公布日期 1994.10.05
申请号 EP19920909800 申请日期 1992.05.15
申请人 SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. 发明人 OKOSHI, SHINICHI, TAKEFU WORKS SHIN-ETSU;KIMURA, HIROYUKI, TAKEFU WORKS SHIN-ETSU
分类号 C30B31/10;C30B31/12;C30B33/00;F27B17/00;F27D7/02;(IPC1-7):F27B17/00 主分类号 C30B31/10
代理机构 代理人
主权项
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