发明名称 METAL ION REDUCTION IN NOVOLAK RESINS.
摘要 La présente invention concerne des méthodes permettant de produire, à partir de résines échangeuses d'ions, des résines novolaques non solubles dans l'eau et solubles dans l'alkali aqueux contenant une très faible quantité d'ions métalliques. Est également décrite une méthode permettant de produire une composition aux agents photorésistants contenant une très faible quantité d'ions métalliques à partir de ces résines novolaques et de produire des dispositifs semi-conducteurs faisant appel à ces compositions aux agents photorésistants.
申请公布号 EP0617709(A1) 申请公布日期 1994.10.05
申请号 EP19930901350 申请日期 1992.12.15
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 RAHMAN, M., DALIL;DURHAM, DANA, L.
分类号 C08G8/00;C08G8/08;C08G8/10;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):C08G8/10 主分类号 C08G8/00
代理机构 代理人
主权项
地址