| 摘要 |
<p>Vorrichtung zur lateral aufgelösten Untersuchung einer lateral heterogenen ultradünnen Objektschicht (5), insbesondere zur lateral aufgelösten Detektion einer Änderung der Schichtdicke der Objektschicht (5), die aus einer spezifischen Bindungsreaktion eines an der Objektschicht (5) fixierten ersten Bindungspartners mit einem nichtgebundenen zweiten Bindungspartner resultiert, mit einer in einem Untersuchungsbereich verlaufenden mehrschichtigen Schichtstruktur, die die Objektschicht (5) als erste Schicht und eine dieser benachbarte zweite Schicht umfaßt, einer Koppleranordnung zum Einkoppeln von Anregungslicht (9) in die zweite Schicht, wobei das Anregungslicht (9) bei mindestens einem definierten Einfallswinkel in der zweiten Schicht eine gebundene, nichtstrahlende elektromagnetische Welle erzeugt, von der sich eine evaneszente Welle in die Objektschicht (5) erstreckt und einem optischen Abbildungssystem (11) zur Abbildung des Untersuchungsbereiches der Objektschicht (5) in eine Bildebene (12) unter einem definierten Ausfallwinkel, unter welchem Detektionslicht aus der zweiten Schicht ausgekoppelt wird. Die Koppleranordnung weist eine in dem Untersuchungsbereich parallel zu der Objektschicht (5) verlaufende optische Gitterstruktur auf, welche um eine senkrecht zur Gitterebene (27) verlaufende Achse (A) drehbar ist, um zur Einstellung des Abbildungskontrastes die Orientierung der Gitterlinien relativ zur Einfallsebene zu variieren. <IMAGE></p> |
