Beschleunigungssensor, bei dem auf einem SOI-Substrat in der Siliziumschicht (1) ein Masseteil (2) an Federn (3) als mikromechanische Komponenten ausgebildet sind und bei dem Mittel wie z. B. Piezowiderstände (4) vorhanden sind, um eine Auslenkung des Masseteiles (2) infolge einer Beschleunigung des Substrates detektieren und in einer elektronischen Schaltung auswerten zu können. <IMAGE>
