| 发明名称 |
PRODUCTION OF PHOTOSENSITIVE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06280021(A) |
申请公布日期 |
1994.10.04 |
| 申请号 |
JP19930123627 |
申请日期 |
1993.04.26 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;G03G5/08;G03G5/082;G03G5/147;H01L31/08;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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